GB/T 24468-2009 半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

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标准编号：GB/T 24468-2009

标准名称：半导体设备可靠性、可用性和维修性（RAM）的定义和测量规范

标准类型：推荐性

标准英文：Specification for definition and measurement of semiconductor equipment reliability, availability, and maintainability(RAM)

标准状态：现行

发布日期：2009-12-01

实施日期：2009-10-15

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：计量学和测量、物理现象

国内标准分类号：L85

国际标准分类：17.040.30

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中国电子技术标准化研究所

起草人：黄英华 刘筠 张建勇蒋迪宝