GB/T 14264-2009 半导体材料术语

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标准编号：GB/T 14264-2009

标准名称：半导体材料术语

标准类型：推荐性

标准英文：Semiconductor materials-terms and definitions

标准状态：现行

发布日期：2010-06-01

实施日期：2009-10-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：GB/T 14264-1993

起草单位：中国有色金属工业标准计量质量研究所杭州海纳半导体有限公司 有研半导体材料股份有限公司 国瑞电子材料有限责任公司等

起草人：孙燕 黄笑容 卢立延 郑琪 向磊翟富义