GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢

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标准编号：GB/T 16942-2009

标准名称：电子工业用气体 氢

标准类型：推荐性

标准英文：Hydrogen for electronic industry

标准状态：现行

发布日期：2010-05-01

实施日期：2009-10-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 16942-1997

起草单位：中国计量科学研究院 西南化工研究设计院

起草人：周泽义 周鹏云

GB/T16942—2009前言本标准代替GB/T16942—1997《电子工业用气体氢》。本标准与GB/T16942—1997相比主要变化如下：修改电子工业用氢的适用范围（GB/T16942一1997的第1章，本版的第1章）；修改规范性引用文件（GB/T16942—1997的第2章，本版的第2章）；—修改技术指标内容(GB/T16942—1997的第3章，本版的第3章)；修改电子工业用氢抽样规则（GB/T16942—1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2)；修改电子工业用氢采样要求（GB/T16942—1997的4.2,本版的4.1.3)；修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法（16942—1997的4.4、4.6,本版的4.3)；修改总烃分析方法的检测限（16942—1997的4.7,本版的4.5）；修改水分含量的分析方法（16942—1997的4.8，本版的4.7）；修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16942—1997的第5章,本版的第5章)；增加规范性附录A,并把采用氮离子化气相色谱法测定电子工业用氢中的氮、一氧化碳、二氧化碳组分的方法写入该附录（见附录A)。本标准的附录A为规范性附录。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。本标准起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。本标准主要起草人：周泽义、周鹏云。本标准所代替标准的历次版本发布情况为：GB/T16942—1997。GB/T 16942—2009电子工业用气体氢1范围本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。分子式：H2。相对分子质量：2.01588（按2005年国际相对原子质量计算）。2规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB190—2009　危险货物包装标志GB/T3634.1氢气第1部分工业氢GB/T3723工业用化学产品采样安全通则GB 4962氢气使用安全技术规程GB 5099　钢质无缝气瓶（GB 5099—1994,neq ISO 4705:1993）GB/T6285气体中微量氧的测定电化学法GB 7144气瓶颜色标志GB/T 8984气体中一氧化碳、二氧化碳和碳氢化合物的测定」气相色谱法GB14194永久气体气瓶充装规定气瓶安全监察规程压力容器安全技术监察规程压力管道安全管理与监察规定3技术要求电子工业用气体氢的质量应符合表1的要求。表1技术指标项目指電标氢（H)纯度（体积分数)/10-2W99.999999.999799.9995氮（N2）含量（体积分数)/10-60.52.02氧（O2）含量（体积分数）/10-6入0.20.20.5氧化碳（CO)含量（体积分数)/10-6人0.050.50.2二氧化碳(CO)含量(体积分数)/10-60.050.5总烃(以甲烷计)含量（体积分数)/10-6入人0.050.20.5水分(HzO)含量（体积分数)/10-0.20.20.5总杂质含量(体积分数)/10-61.02.84.5颗粒供需双方商定供需双方商定注：质量保证期为24个月。供需双方商定