GB/T 16943-2009 电子工业用气体 氦

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标准编号：GB/T 16943-2009

标准名称：电子工业用气体 氦

标准类型：推荐性

标准英文：Gas for electronic industry - Helium

标准状态：现行

发布日期：2010-05-01

实施日期：2009-10-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 16943-1997

起草单位：西南油气田分公司成都天然气化工总厂西南化工研究设计院 北京氦普北分气体工业有限公司

起草人：刘泽军 付永成 赵俊秀周鹏云