GB/T 24575-2009 硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

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标准编号：GB/T 24575-2009

标准名称：硅和外延片表面Na、Al、K和Fe的二次离子质谱检测方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring surface sodium,aluminum,potassium,and iron on silicon and epi substrates by secondary ion mass spectrometry

标准状态：现行

发布日期：2010-06-01

实施日期：2009-10-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H80

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心 中国电子科技集团公司第四十六研究所

起草人：何友琴 马农农 丁丽