GB/T 25494-2010 吸气剂成分分析测试方法

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标准编号：GB/T 25494-2010

标准名称：吸气剂成分分析测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test methods for composition analysis of getters

标准状态：现行

发布日期：2011-05-01

实施日期：2010-12-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L90

国际标准分类：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 6625-1986,GB/T 6626.2-1986,GB/T 9506.3-1988

起草单位：南京华东赛斯真空材料有限公司中国电子科技集团公司第十二研究所 工业和信息化部电子工业标准化研究所

起草人：薛函迎 郭卫斌 张巨先刘筠