GB/T 25755-2010 真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

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标准编号：GB/T 25755-2010

标准名称：真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量

标准类型：推荐性

标准英文：Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics

标准状态：现行

发布日期：2011-10-01

实施日期：2010-12-23

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：流体系统和通用件

国内标准分类号：J78

国际标准分类：23.160

技术归口：全国真空技术标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司 沈阳真空技术研究所

起草人：邹蒙 张勤德 李春影 朱国精马殿理