GB/T 28275-2012 硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

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标准编号：GB/T 28275-2012

标准名称：硅基MEMS制造技术 氢氧化钾腐蚀工艺规范

标准类型：推荐性

标准英文：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for KOH etch process

标准状态：现行

发布日期：2012-12-01

实施日期：2012-05-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中国科学院上海微系统与信息技术研究所东南大学中机生产力促进中心 重庆大学 中国电子科技集团第四十九研究所

起草人：夏伟锋 熊斌 周再发 李玉玲 冯飞戈肖鸿