GB/T 28276-2012 硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

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标准编号：GB/T 28276-2012

标准名称：硅基MEMS制造技术 体硅溶片工艺规范

标准类型：推荐性

标准英文：Silicon-based MEMS fabrication technology - Specification for the dissolved wafer process

标准状态：现行

发布日期：2012-12-01

实施日期：2012-05-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团第十三研究所北京大学 中机生产力促进中心 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人：崔波 罗蓉 熊斌 陈海蓉 刘伟张大成