GB/T 28274-2012 硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

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标准编号：GB/T 28274-2012

标准名称：硅基MEMS制造技术 版图设计基本规则

标准类型：推荐性

标准英文：Silicon-based MEMS fabrication technology - The basic regulation of layout design

标准状态：现行

发布日期：2012-12-01

实施日期：2012-05-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：北京大学中国电子科技集团第十三研究所西北工业大学 中机生产力促进中心 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

起草人：张大成 王玮 姜森林 崔波 刘伟杨芳