GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
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标准编号:GB/T 29056-2012
标准名称:硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
标准类型:推荐性
标准英文:Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron,aluminium,phosphorus,vanadium,chrome,manganese,iron,cobalt,nickel,copper,molybdenum,arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method
标准状态:现行
发布日期:2013-10-01
实施日期:2012-12-31
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:电子学
国内标准分类号:L90
国际标准分类:31.030
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心 南京大学现代分析中心
起草人:郑华荣 刘新军 黄和明 陈逸君 龚磊荣张莉萍
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