GB/T 29056-2012 硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

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标准编号：GB/T 29056-2012

标准名称：硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Trichlorosilane for silicon epitaxy - Determination of boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic and antimony content - Inductively coupled plasma mass spectrometric method

标准状态：现行

发布日期：2013-10-01

实施日期：2012-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L90

国际标准分类：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：南京中锗科技股份有限公司南京大学国家863计划新材料MO源研究开发中心 南京大学现代分析中心

起草人：郑华荣 刘新军 黄和明 陈逸君 龚磊荣张莉萍