GB/T 29504-2013 300mm 硅单晶
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标准编号:GB/T 29504-2013
标准名称:300mm 硅单晶
标准类型:推荐性
标准英文:300mm monocrystalline silicon
标准状态:现行
发布日期:2014-02-01
实施日期:2013-05-09
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:电气工程
国内标准分类号:H82
国际标准分类:29.045
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:产品
代替标准:
起草单位:有研半导体材料股份有限公司万向硅峰电子股份有限公司 中国有色金属工业标准计量质量研究所 宁波立立电子股份有限公司
起草人:闫志瑞 孙燕 楼春兰 卢立延张果虎
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