GB/T 34177-2017 光刻用石英玻璃晶圆

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标准编号：GB/T 34177-2017

标准名称：光刻用石英玻璃晶圆

标准类型：推荐性

标准英文：Quartz glass wafer for lithography

标准状态：现行

发布日期：2018-08-01

实施日期：2017-09-07

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：玻璃和陶瓷工业

国内标准分类号：Q35

国际标准分类：81.040.30

技术归口：全国工业玻璃和特种玻璃标准化技术委员会

主管部门：中国建筑材料联合会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：中国建材检验认证集团股份有限公司长沙韶光铬版有限公司国家安全玻璃及石英玻璃质量监督检验中心 中建材衢州金格兰石英有限公司 中国建筑材料科学研究总院

起草人：吴洁 王京侠 花宁 刘焕敏 张浩运 杨晓会 张应语 王友军李弋舟肖颂华聂兰舰杨学东孔敏