GB/T 34326-2017 表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

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标准编号：GB/T 34326-2017

标准名称：表面化学分析 深度剖析 AES和XPS深度剖析时离子束对准方法及其束流或束流密度测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Surface chemical analysis—Depth profiling—Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS

标准状态：现行

发布日期：2018-08-01

实施日期：2017-09-29

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G04

国际标准分类：71.040.40

技术归口：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国计量科学院

起草人：王海 王梅玲 张艾蕊宋小平