GB/T 34893-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

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标准编号：GB/T 34893-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构面内长度测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for in-plane length measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

标准状态：现行

发布日期：2018-05-01

实施日期：2017-11-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：天津大学国家仪器仪表元器件质量监督检验中心中国电子科技集团公司第十三研究所 中机生产力促进中心 南京理工大学

起草人：胡晓东 郭彤 程红兵 裘安萍 于振毅李海斌崔波朱悦