GB/T 34894-2017 微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

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标准编号：GB/T 34894-2017

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 基于光学干涉的MEMS微结构应变梯度测量方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical system technology—Measuring method for strain gradient measurements of MEMS microstructures using an optical interferometer

标准状态：现行

发布日期：2018-05-01

实施日期：2017-11-01

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L55

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中机生产力促进中心国家仪器仪表元器件质量监督检验中心南京理工大学 天津大学 中国电子科技集团公司第十三研究所

起草人：胡晓东 郭彤 李海斌 崔波 程红兵于振毅朱悦裘安萍