GB/T 17866-1999 掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

点击我下载

标准编号：GB/T 17866-1999

标准名称：掩模缺陷检查系统灵敏度分析所用的特制缺陷掩模和评估测量方法准则

标准类型：推荐性

标准英文：Guideline for programmed defect masks and benchmark procedures for sensitivity analysisof mask defect inspection systems

标准状态：现行

发布日期：2000-06-01

实施日期：1999-09-13

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L56

国际标准分类：31.200

技术归口：>全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：>国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院微电子中心

起草人：