GB/T 12964-2018 硅单晶抛光片

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标准编号：GB/T 12964-2018

标准名称：硅单晶抛光片

标准类型：推荐性

标准英文：Monocrystalline silicon polished wafers

标准状态：现行

发布日期：2019-06-01

实施日期：2018-09-17

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 12964-2003

起草单位：有研半导体材料有限公司浙江金瑞泓科技股份有限公司浙江省硅材料质量检验中心天津市环欧半导体材料技术有限公司 上海合晶硅材料有限公司 浙江海纳半导体有限公司 有色金属技术经济研究院

起草人：孙燕 卢立延 楼春兰 杨素心 徐新华张海英潘金平张雪囡