GB/T 36705-2018 氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

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标准编号：GB/T 36705-2018

标准名称：氮化镓衬底片载流子浓度的测试 拉曼光谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for carrier concentration of gallium nitride substrates—Raman spectrum method

标准状态：现行

发布日期：2019-06-01

实施日期：2018-09-17

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟东莞市中镓半导体科技有限公司 苏州纳维科技有限公司 有色金属技术经济研究院 中国电子技术标准化研究院

起草人：郑树楠 张育民 王建峰 徐科 丁晓民 陆敏 石林邱永鑫付雪涛杨素心杨建