GB/T 4060-2018 硅多晶真空区熔基硼检验方法

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标准编号：GB/T 4060-2018

标准名称：硅多晶真空区熔基硼检验方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for boron content in polycrystalline silicon by vacuum zone-melting method

标准状态：现行

发布日期：2019-06-01

实施日期：2018-09-17

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 4060-2007

起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司洛阳中硅高科技有限公司 亚洲硅业（青海）有限公司 峨嵋半导体材料研究所

起草人：胡伟 刘晓霞 王桃霞 胡自强 万烨 杨旭 耿全荣鲁文锋宗冰肖建忠