GB/T 37049-2018 电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

点击我下载

标准编号：GB/T 37049-2018

标准名称：电子级多晶硅中基体金属杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for the content of metal impurity in electronic grade polysilicon—Inductively coupled-plasma mass spectrometry method

标准状态：现行

发布日期：2019-04-01

实施日期：2018-12-28

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040.30

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：江苏中能硅业科技发展有限公司有研半导体材料有限公司新特能源股份有限公司 青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司 宜昌南玻硅材料有限公司 洛阳中硅高科技有限公司

起草人：鲁文锋 刘晓霞 赵而敬 王桃霞 柳德发 张园园 刘强 秦榕孙燕赵玉王忠慧银波邱艳梅