GB/T 14139-2019 硅外延片

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标准编号：GB/T 14139-2019

标准名称：硅外延片

标准类型：推荐性

标准英文：Silicon epitaxial wafers

标准状态：现行

发布日期：2020-05-01

实施日期：2019-06-04

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H82

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 14139-2009

起草单位：浙江金瑞泓科技股份有限公司上海合晶硅材料有限公司有研半导体材料有限公司 南京国盛电子有限公司 有色金属技术经济研究院

起草人：张海英 李慎重 胡金枝 卢立延 蒋玉龙骆红李素青