GB/T 37466-2019 氮化镓激光剥离设备
标准编号：GB/T 37466-2019
标准名称：氮化镓激光剥离设备
标准类型：推荐性
标准英文：Laser lift-off equipment used for GaN
标准状态：现行
发布日期：2019-10-01
实施日期：2019-06-04
标准语言：中文
发布部委：
国际分类：电子学
国内标准分类号：L95
国际标准分类：31.550
技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准类别：产品
代替标准：
起草单位：东莞市中镓半导体科技有限公司 中国电子技术标准化研究院
起草人：孙永健 刘鹏 汪青 丁晓民冯亚彬
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