GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

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标准编号：GB/T 37959-2019

标准名称：含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型

标准类型：推荐性

标准英文：Information model for containing process chamber IC equipment design

标准状态：现行

发布日期：2020-03-01

实施日期：2019-08-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：信息技术、办公机械

国内标准分类号：J07

国际标准分类：35.240.50

技术归口：全国自动化系统与集成标准化技术委员会

主管部门：中国机械工业联合会

标准类别：基础

代替标准：

起草单位：中车信息技术有限公司北京机械工业自动化研究所有限公司 清华大学 中国石油规划总院

起草人：顾明 程嘉 陈莉 曹自立 王海丹 王峰 李丽季林红张颖黎晓东