GB/T 37959-2019 含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
标准编号:GB/T 37959-2019
标准名称:含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型
标准类型:推荐性
标准英文:Information model for containing process chamber IC equipment design
标准状态:现行
发布日期:2020-03-01
实施日期:2019-08-30
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:信息技术、办公机械
国内标准分类号:J07
国际标准分类:35.240.50
技术归口:全国自动化系统与集成标准化技术委员会
主管部门:中国机械工业联合会
标准类别:基础
代替标准:
起草单位:中车信息技术有限公司北京机械工业自动化研究所有限公司 清华大学 中国石油规划总院
起草人:顾明 程嘉 陈莉 曹自立 王海丹 王峰 李丽季林红张颖黎晓东
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