GB/T 38616-2020 纳米定位与扫描平台术语

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标准编号：GB/T 38616-2020

标准名称：纳米定位与扫描平台术语

标准类型：推荐性

标准英文：Terminology for nano positioning and scaning stage

标准状态：现行

发布日期：2020-11-01

实施日期：2020-04-28

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：综合、术语学、标准化、文献

国内标准分类号：N10

国际标准分类：01.040.39

技术归口：全国电子测量仪器标准化技术委员会

主管部门：工业和信息化部（电子）

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：沈阳建筑大学广东工业大学苏州昊通仪器科技有限公司 三英精控（天津）仪器设备有限公司 中国计量科学研究院 沈阳理工大学

起草人：须颖 戴敬 施玉书 贾静 王贺 安冬邵萌戴超文杰