GB/T 5252-2020 锗单晶位错密度的测试方法

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标准编号：GB/T 5252-2020

标准名称：锗单晶位错密度的测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for dislocation density of monocrystal germanium

标准状态：现行

发布日期：2021-04-01

实施日期：2020-06-02

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 5252-2006

起草单位：有研光电新材料有限责任公司国合通用测试评价认证股份公司中国电子科技集团公司第四十六研究所中锗科技有限公司 北京国晶辉红外光学科技有限公司 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 广东先导稀材股份有限公司 义乌力迈新材料有限公司

起草人：张路 冯德伸 姚康 刘新军 韦圣林 黄洪伟文 马会超普世坤郭荣贵向清华