GB/T 38866-2020 电子工业用二氯硅烷

点击我下载

标准编号：GB/T 38866-2020

标准名称：电子工业用二氯硅烷

标准类型：推荐性

标准英文：Dichlorosilane for electronic industry

标准状态：现行

发布日期：2021-02-01

实施日期：2020-07-21

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：湖北晶星科技股份有限公司洛阳中硅高科技有限公司湖北光谷标准创新科技有限公司浙江西亚特电子材料有限公司大连大特气体有限公司联雄投资（上海）有限公司达州市质量技术监督检验测试中心 湖北省标准化与质量研究院 唐山三孚电子材料有限公司 广东华特气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海市计量测试技术研究院 随州市信息与标准化所 西南化工研究设计院有限公司

起草人：丰雷 叶家爱 刘畅 万烨 戴帅 谢秋琪 禹金龙 杨利 曹作斌 曲庆 黄辉 谭鹏程 李威 方艾黎 龚瑞杨剑张园园王春英袁乐傅铸红于青玉方华陈鹰李春华邓远方周鹏云谭依玲