GB/T 8760-2020 砷化镓单晶位错密度的测试方法

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标准编号：GB/T 8760-2020

标准名称：砷化镓单晶位错密度的测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for dislocation density of monocrystal gallium arsenide

标准状态：现行

发布日期：2021-08-01

实施日期：2020-09-29

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：GB/T 8760-2006

起草单位：有研光电新材料有限责任公司国合通用测试评价认证股份公司广东先导稀材股份有限公司 云南临沧鑫圆锗业股份有限公司 中国电子科技集团第四十六研究所 雅波拓（福建）新材料有限公司

起草人：赵敬平 林泉 刘淑凤 姚康 马英俊 王彤涵 陈晶晶 付萍 于洪国惠峰许所成许兴赵素晓韦圣林