GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材

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标准编号：GB/T 39159-2020

标准名称：集成电路用高纯铜合金靶材

标准类型：推荐性

标准英文：High purity copper alloy target for integrated circuit

标准状态：现行

发布日期：2021-10-01

实施日期：2020-11-19

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H62

国际标准分类：77.150.30

技术归口：全国有色金属标准化技术委员会

主管部门：中国有色金属工业协会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：宁波江丰电子材料股份有限公司宁波微泰真空技术有限公司 有研亿金新材料有限公司

起草人：曹欢欢 袁海军 曾浩 边逸军 贺昕 慕二龙 姚力军王学泽钟伟华周友平高岩江伟龙