GB/T 39159-2020 集成电路用高纯铜合金靶材
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标准编号:GB/T 39159-2020
标准名称:集成电路用高纯铜合金靶材
标准类型:推荐性
标准英文:High purity copper alloy target for integrated circuit
标准状态:现行
发布日期:2021-10-01
实施日期:2020-11-19
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:冶金
国内标准分类号:H62
国际标准分类:77.150.30
技术归口:全国有色金属标准化技术委员会
主管部门:中国有色金属工业协会
标准类别:产品
代替标准:
起草单位:宁波江丰电子材料股份有限公司宁波微泰真空技术有限公司 有研亿金新材料有限公司
起草人:曹欢欢 袁海军 曾浩 边逸军 贺昕 慕二龙 姚力军王学泽钟伟华周友平高岩江伟龙
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