GB/T 19444-2004 硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法

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标准编号：GB/T 19444-2004

标准名称：硅片氧沉淀特性的测定 间隙氧含量减少法

标准类型：推荐性

标准英文：Oxygen precipitation characterization of silicon wafers by measurement of interstitial oxygen reduction

标准状态：现行

发布日期：2004-07-01

实施日期：2004-02-05

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H26

国际标准分类：29.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：洛阳单晶硅有限责任公司

起草人：