GB/T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

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标准编号：GB/T 40110-2021

标准名称：表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法（TXRF）测定硅片表面元素污染

标准类型：推荐性

标准英文：Surface chemical analysis—Determination of surface elemental contamination on silicon wafers by total-reflection X-ray fluorescence (TXRF) spectroscopy

标准状态：现行

发布日期：2021-12-01

实施日期：2021-05-21

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G04

国际标准分类：71.040.40

技术归口：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国计量科学研究院 华南理工大学

起草人：王海 张艾蕊 徐昕荣 范燕 王梅玲任丹华