GB/T 40418-2021 电子特气 氟甲烷

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标准编号：GB/T 40418-2021

标准名称：电子特气 氟甲烷

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic specialty gas—Fluoromethane

标准状态：现行

发布日期：2022-03-01

实施日期：2021-08-20

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：浙江省化工研究院有限公司中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司中化蓝天氟材料有限公司广东华特气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司浙江东开半导体科技有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 昊华气体有限公司 衢州氟硅技术研究院 福建久策气体股份有限公司 天津绿菱气体有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 和立气体（上海）有限公司 西南化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司双流分公司

起草人：史婉君 张建君 付梦月 侯玲玲 谭慧 褚人财 曹素英 傅铸红 程紧 叶相平 陈洁 吴靓 何波 黄小强 王大为 易达文 梁成科 高静 徐娇 叶树全 周鹏云 张亮 方小青孙福楠郑秋艳董云海颜光清何经余陈艳珊马建修王新喜孙猛方华孙赟珑黄辉宫兵李阳梁永强吴克安白占旗赖晓峰方艾黎