GB/T 21287-2021 电子特气 三氟化氮

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标准编号：GB/T 21287-2021

标准名称：电子特气 三氟化氮

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic specialty gas—Nitrogen trifluoride

标准状态：现行

发布日期：2022-05-01

实施日期：2021-10-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 21287-2007

起草单位：昊华气体有限公司西南化工研究设计院有限公司天津绿菱气体有限公司海宁市英德赛电子有限公司浙江省化工研究院有限公司苏州金宏气体股份有限公司上海申南特种气体有限公司大连大特气体有限公司联雄投资(上海)有限公司浙江东开半导体科技有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司双流分公司 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 广东华特气体股份有限公司 福建久策气体股份有限公司 江西华特电子化学品有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 和立气体（上海）有限公司 西南化工研究设计院有限公司武汉分公司

起草人：王娟 付梦月 傅铸红 陈艳珊 曹素英 宋富财 裴友宏 韦杰广 王新喜 孙猛 吕博文 陈洁 依俊廷 何波 宫兵 王大为 梁永强 梁成科 唐霞梅 李光辉 王少波孟祥军马建修何经余苏子杰丁高松史婉君张建君鬲春利张琦炎吴靓方华杨康黄辉易达文李阳高静马昌宁周鹏云黄超