GB/T 17874-2021 电子特气 三氯化硼

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标准编号：GB/T 17874-2021

标准名称：电子特气 三氯化硼

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic specialty gas—Boron trichloride

标准状态：现行

发布日期：2022-05-01

实施日期：2021-10-11

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 17874-2010

起草单位：大连保税区科利德化工科技开发有限公司和立气体（上海）有限公司广东华特气体股份有限公司福建久策气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司沁阳国顺硅源光电气体有限公司浙江省化工研究院有限公司杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心）上海华爱色谱分析技术有限公司上海凡伟仪器设备有限公司沈阳中复科金压力容器有限公司昆明广瑞达特种气体有限责任公司西南化工研究设计院有限公司武汉分公司 中昊光明化工研究设计院有限公司 太和气体（荆州）有限公司 海宁市英德赛电子有限公司 中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 上海兄弟微电子技术有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 上海申南特种气体有限公司 大连大特气体有限公司 联雄投资(上海)有限公司 浙江东开半导体科技有限公司 西南化工研究设计院有限公司 西南化工研究设计院有限公司双流分公司

起草人：施旖旎 赵趫 梁成科 阳辉 丁高松 何经余 苏子杰 廖恒易 张建君 王新喜 周礼誉 鬲春利 陈洁 吴靓 何波 黄小强 宫兵 易达文 李威 赵帅德 沈翠平 孙福楠梁永强傅铸红陈艳珊曹素英宋富财刘健史婉君孙猛史隽涛张琦炎吕博文方华辛伶黄辉刘扬涛李阳高静余民周鹏云