GB/T 41153-2021 碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

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标准编号：GB/T 41153-2021

标准名称：碳化硅单晶中硼、铝、氮杂质含量的测定 二次离子质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Determination of boron, aluminum and nitrogen impurity content in silicon carbide single crystal—Secondary ion mass spectrometry

标准状态：现行

发布日期：2022-07-01

实施日期：2021-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所山东天岳先进科技股份有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司

起草人：马农农 何友琴 何烜坤 李素青 陈潇刘立娜张红岩