GB/T 41064-2021 表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

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标准编号：GB/T 41064-2021

标准名称：表面化学分析 深度剖析 用单层和多层薄膜测定X射线光电子能谱、俄歇电子能谱和二次离子质谱中深度剖析溅射速率的方法

标准类型：推荐性

标准英文：Surface chemical analysis—Depth profiling—Method for sputter rate determination in X-ray photoelectron spectroscopy, Auger electron spectroscopy and secondary-ion mass spectrometry sputter depth profiling using single and multi-layer thin films

标准状态：现行

发布日期：2022-07-01

实施日期：2021-12-31

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G04

国际标准分类：71.040.40

技术归口：全国微束分析标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：清华大学 中国石油大学（北京）

起草人：姚文清 段建霞 李展平 徐同广 杨立平王雅君王岩华