GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

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标准编号：GB/T 42263-2022

标准名称：硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法

标准类型：推荐性

标准英文：Determination of nitrogen content in silicon single crystal—Secondary ion mass spectrometry method

标准状态：现行

发布日期：2023-04-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H17

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所 有色金属技术经济研究院有限责任公司

起草人：马农农 何友琴 刘立娜 何烜坤 李素青陈潇