GB/T 42271-2022 半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

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标准编号：GB/T 42271-2022

标准名称：半绝缘碳化硅单晶的电阻率非接触测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for resistivity of semi-insulating monocrystalline silicon carbide by contactless measurement

标准状态：现行

发布日期：2023-04-01

实施日期：2022-12-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司安徽长飞先进半导体有限公司中国电子科技集团公司第四十六研究所 中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟 有色金属技术经济研究院有限责任公司

起草人：彭同华 佘宗静 李素青 王波 刘立娜 王大军张贺杨建袁松