GB/T 30656-2023 碳化硅单晶抛光片

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标准编号：GB/T 30656-2023

标准名称：碳化硅单晶抛光片

标准类型：推荐性

标准英文：Polished monocrystalline silicon carbide wafers

标准状态：现行

发布日期：2023-10-01

实施日期：2023-03-17

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H83

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 30656-2014

起草单位：北京天科合达半导体股份有限公司南京国盛电子有限公司有色金属技术经济研究院有限责任公司 中国科学院物理研究所 安徽长飞先进半导体有限公司

起草人：陈小龙 彭同华 刘春俊 李素青 郑红军 杨建 佘宗静王波郭钰娄艳芳骆红钮应喜