GB/T 42902-2023 碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

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标准编号：GB/T 42902-2023

标准名称：碳化硅外延片表面缺陷的测试 激光散射法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for surface defects on silicon carbide epitaxial wafers—Laser scattering method

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：安徽长飞先进半导体有限公司安徽芯乐半导体有限公司浙江芯科半导体有限公司中国科学院半导体研究所 广东天域半导体股份有限公司 南京国盛电子有限公司 河北普兴电子科技股份有限公司

起草人：钮应喜 袁松 仇光寅 李京波 杨龙 闫果果 张会娟刘敏彭铁坤袁肇耿