GB/T 42721-2023 电子特气 一氧化氮

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标准编号：GB/T 42721-2023

标准名称：电子特气 一氧化氮

标准类型：推荐性

标准英文：Electronic specialty gas—Nitric oxide

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：

起草单位：大连科利德光电子材料有限公司湖州市南浔区佰通标准化研究院广东华特气体股份有限公司江西华特电子化学品有限公司绿菱电子材料(天津）有限公司三峡大学湖北京瑞气体有限公司玉门大洋天庆石化有限责任公司中昊光明化工研究设计院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司上海市计量测试技术研究院杭州新世纪混合气体有限公司联雄投资(上海)有限公司衢州杭氧特种气体有限公司浙江泓芯半导体有限公司空气化工产品（中国）投资有限公司绍兴科艺标准技术咨询有限公司浙江西亚特电子材料有限公司和立气体（上海）有限公司西南化工研究设计院有限公司 昊华气体有限公司 中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司 苏州金宏气体股份有限公司 华测检测认证集团股份有限公司 北京高麦克仪器科技有限公司 湖北和远气体股份有限公司 兰州裕隆气体股份有限公司 昊华气体有限公司西南分公司 上海申南特种气体有限公司 大连大特气体有限公司 中国计量科学研究院 宿州伊维特新材料有限公司 杭氧集团股份有限公司 上海凡伟仪器设备有限公司 布鲁克（北京）科技有限公司 浙江炬和科技有限公司 沈阳中复科金压力容器有限公司 浙江东开半导体科技有限公司 昆明广瑞达特种气体有限责任公司

起草人：施旖旎 付梦月 焦培培 郭琼 袁瑞玲 邵治平 金向华 孙猛 曹雪枫 汤萍 马彬淇 杜大艳 袁有录 王小波 边鲁宁 阳辉 吴靓 方华 高艳秋 郝萍 张金波 杨金山 杨康 黄辉 吴慧明 兰锋 王晶 李倩 宫兵 王大为 吴乾康 梁永强 马昌宁 赵刚 陈辉刘颖张天泽李翔宇傅铸红陈艳珊廖恒易茹高艺牛艳东李长健曹小林方强尹爱华常侠汪正宏陈洁王昭彬于庆伟王德发张体强秦远望何波韩一松毛玲玲尚柏羊耿朝曦董硕顾大正杨利钱叶超梁成科高静赖晓峰周鹏云