GB/T 30652-2023 硅外延用三氯氢硅

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标准编号：GB/T 30652-2023

标准名称：硅外延用三氯氢硅

标准类型：推荐性

标准英文：Trichlorosilane for silicon epitaxial

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H83

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 30652-2014

起草单位：洛阳中硅高科技有限公司上海亿钶气体有限公司唐山三孚电子材料有限公司上海晶盟硅材料有限公司陕西有色天宏瑞科硅材料有限责任公司宜昌南玻硅材料有限公司昊华气体有限公司青海中航硅材料有限公司江西晨光新材料股份有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 南京国盛电子有限公司 上海新昇半导体科技有限公司 新疆大全新能源股份有限公司 武汉新硅科技潜江有限公司 中电晶华（天津）半导体材料有限公司 新疆新特新能材料检测中心有限公司 沁阳国顺硅源光电气体有限公司

起草人：万烨 赵雄 张园园 李素青 冯永平 孙任靖 于生海 邓远红 刘文明 李明达 边红利 史隽涛 严大洲刘见华李建新李飞明张斌顾广安徐岩李楷东付梦月邱艳梅梁秋鸿