GB/T 42676-2023 半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

该文档还未正式上传请联系人工客服处理

需要人工协助寻找标准请加微信：msxygy666666 尽可能解决您的需要。

标准编号：GB/T 42676-2023

标准名称：半导体单晶晶体质量的测试 X射线衍射法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for crystalline quality of semiconductive single crystal—X-ray diffraction method

标准状态：现行

发布日期：2024-03-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：冶金

国内标准分类号：H21

国际标准分类：77.040

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所北京通美晶体技术股份有限公司弘元新材料（包头）有限公司浙江海纳半导体股份有限公司丹东新东方晶体仪器有限公司江苏卓远半导体有限公司 有色金属技术经济研究院有限责任公司 山东有研半导体材料有限公司 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 国标（北京）检验认证有限公司 有研国晶辉新材料有限公司 新美光（苏州）半导体科技有限公司

起草人：何烜坤 刘立娜 马春喜 许蓉 朱晓彤 李向宇 王书明 赵松彬 张新峰 赵丽丽 李素青庞越任殿胜王元立杨阳潘金平林泉李国平夏秋良