GB/T 42897-2023 微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

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标准编号：GB/T 42897-2023

标准名称：微机电系统（MEMS）技术 硅基MEMS纳米厚度膜抗拉强度试验方法

标准类型：推荐性

标准英文：Micro-electromechanical systems（MEMS） technology—Tensile strength test method for nano-scale membranes of silicon based MEMS

标准状态：现行

发布日期：2023-12-01

实施日期：2023-08-06

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L59

国际标准分类：31.200

技术归口：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：北京大学中国电子技术标准化研究院厦门市智慧健康研究院有限公司四川富生电器有限责任公司无锡韦感半导体有限公司江门市润宇传感器科技有限公司 中机生产力促进中心有限公司 北京燕东微电子科技有限公司 宁波瑞成包装材料有限公司 深圳市美思先端电子有限公司 广州奥松电子股份有限公司

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