GB/Z 43684-2024 纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

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标准编号：GB/Z 43684-2024

标准名称：纳米技术 光栅的描述、测量和尺寸质量参数

标准类型：指导性技术文件

标准英文：Nanotechnologies—Description, measurement and dimensional quality parameters of gratings

标准状态：即将实施

发布日期：2024-10-01

实施日期：2024-03-15

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：数学、自然科学

国内标准分类号：L04

国际标准分类：07.120

技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国计量科学研究院清华大学广纳四维（广东）光电科技有限公司 北京大学 苏州苏大维格科技集团股份有限公司

起草人：李伟 李适 陈林森 李晓军 施玉书 黄鹭 华鉴瑜 朱振东李群庆高思田李琪史瑞乔文