GB/T 43798-2024 平板显示阵列用正性光阻材料测试方法

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标准编号：GB/T 43798-2024

标准名称：平板显示阵列用正性光阻材料测试方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method of positive photoresist for manufacturing of flat panel display array

标准状态：即将实施

发布日期：2024-10-01

实施日期：2024-03-15

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电子学

国内标准分类号：L90

国际标准分类：31.030

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：京东方科技集团股份有限公司中国电子技术标准化研究院江阴润玛电子材料股份有限公司 上海彤程电子材料有限公司 阜阳欣奕华材料科技有限公司 福建泓光半导体材料有限公司

起草人：杨澜 程龙 曹可慰 李琳 李璐 戈烨铭 袁晓雷 吴怡然赵俊莎吴京玮岳爽何珂曾成财

SACGB/T 43798—2024目次前言·…··1范围·…2规范性引用文件3术语和定义·…··4测试条件…·.4.1环境条件4.2试剂材料4.3其他配套。5测试项目6+*e+5.1胶膜云纹5.2曝光量5.3曝光测试观察图形完整性5.4关键尺寸（CD）：5.5残膜率5.6固含量5.7液体颗粒计数5.8粘度·…·…··105.9相对密度·…·115.10水分质量分数115.11金属杂质含量116试验报告…….·13