GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

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标准编号：GB/T 30868-2014

标准名称：碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching

标准状态：现行

发布日期：2015-02-01

实施日期：2014-07-24

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：电气工程

国内标准分类号：H83

国际标准分类：29.045

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：中国电子科技集团公司第四十六研究所 中国电子技术标准化研究院

起草人：丁丽 周智慧 郝建民蔺娴