GB/T 30868-2014 碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
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标准编号:GB/T 30868-2014
标准名称:碳化硅单晶片微管密度的测定 化学腐蚀法
标准类型:推荐性
标准英文:Test method for measuring micropipe density of monocrystalline silicon carbide wafers―Chemically etching
标准状态:现行
发布日期:2015-02-01
实施日期:2014-07-24
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:电气工程
国内标准分类号:H83
国际标准分类:29.045
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六研究所 中国电子技术标准化研究院
起草人:丁丽 周智慧 郝建民蔺娴
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