GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
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标准编号:GB/T 31227-2014
标准名称:原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法
标准类型:推荐性
标准英文:Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films
标准状态:现行
发布日期:2015-04-15
实施日期:2014-09-30
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:计量学和测量、物理现象
国内标准分类号:J04
国际标准分类:17.040.20
技术归口:全国纳米技术标准化技术委员会
主管部门:中国科学院
标准类别:方法
代替标准:
起草单位:上海交通大学 纳米技术及应用国家工程研究中心
起草人:李慧琴 梁齐 张冰 路庆华何丹农
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