GB/T 31227-2014 原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

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标准编号：GB/T 31227-2014

标准名称：原子力显微镜测量溅射薄膜表面粗糙度的方法

标准类型：推荐性

标准英文：Test method for the surface roughness by atomic force microscope for sputtered thin films

标准状态：现行

发布日期：2015-04-15

实施日期：2014-09-30

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：计量学和测量、物理现象

国内标准分类号：J04

国际标准分类：17.040.20

技术归口：全国纳米技术标准化技术委员会

主管部门：中国科学院

标准类别：方法

代替标准：

起草单位：上海交通大学 纳米技术及应用国家工程研究中心

起草人：李慧琴 梁齐 张冰 路庆华何丹农