GB/T 14602-2014 电子工业用气体 氯化氢

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标准编号：GB/T 14602-2014

标准名称：电子工业用气体 氯化氢

标准类型：推荐性

标准英文：Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

标准状态：现行

发布日期：2015-07-01

实施日期：2014-12-22

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 24469-2009,GB/T 14602-1993

起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司佛山市华特气体有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司 西南化工研究设计院有限公司 光明化工研究设计院有限公司 上海仪盟科技有限公司

起草人：张吉瑞 孙福楠 周鹏云 杨任 杜汉盛方华