GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯

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标准编号：GB/T 18994-2014

标准名称：电子工业用气体 高纯氯

标准类型：推荐性

标准英文：Gases for electronic industry―High purity chlorine

标准状态：现行

发布日期：2015-07-01

实施日期：2014-12-22

标准语言：中文

发布部委：

国际分类：化工技术

国内标准分类号：G86

国际标准分类：71.100.20

技术归口：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准类别：产品

代替标准：GB/T 18994-2003

起草单位：西南化工研究设计院有限公司佛山市华特气体有限公司太和气体（荆州）有限公司 光明化工研究设计院有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海仪盟科技有限公司

起草人：周鹏云 常侠 刘新明 汪正宏 廖恒易方华