GB/T 18994-2014 电子工业用气体 高纯氯
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标准编号:GB/T 18994-2014
标准名称:电子工业用气体 高纯氯
标准类型:推荐性
标准英文:Gases for electronic industry―High purity chlorine
标准状态:现行
发布日期:2015-07-01
实施日期:2014-12-22
标准语言:中文
发布部委:
国际分类:化工技术
国内标准分类号:G86
国际标准分类:71.100.20
技术归口:全国半导体设备和材料标准化技术委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准类别:产品
代替标准:GB/T 18994-2003
起草单位:西南化工研究设计院有限公司佛山市华特气体有限公司太和气体(荆州)有限公司 光明化工研究设计院有限公司 上海华爱色谱分析技术有限公司 上海仪盟科技有限公司
起草人:周鹏云 常侠 刘新明 汪正宏 廖恒易方华
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